Investigation and reduction of RF loss induced by Al diffusion at the AlN/Si(111) interface in GaN-based HEMT buffer stacks

Mauder, C. (Corresponding author); Hahn, Klaus Matthias; Marx, M.; Gao, Z.; Oligschlaeger, R.; Zweipfennig, Thorsten; Noculak, Achim; Negra, Renato; Kalisch, Holger; Vescan, Andrei; Heuken, Michael

Bristol : IOP Publ. (2021)
Fachzeitschriftenartikel

In: Semiconductor science and technology
Band: 36
Heft: 7
Seite(n)/Artikel-Nr.: 075008

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